پردازش گرمايي سريع
نام دستگاه به فارسي: سامانه پردازش گرمايي سريع
نام دستگاه به انگليسي: Rapid thermal processing system
شركت و كشور سازنده: آزمايشگاه خواص الكترونيكي مواد، ايران
مدل دستگاه: RTP-1
حوزه تخصصي كاربرد: ميكرو و نانوالكترونيك، مهندسي مواد
خدمات قابل ارائه: انجام فرآيندهاي مبتني بر گرمايش سريع مانند Rapid thermal annealing (RTA) و Rapid thermal oxidation (RTO)
توضيحات: انجام فرآيند در ملاءهاي مختلف شامل اكسيژن، هيدروژن، آرگون، هوا (خشك يا مرطوب) و ... با نرخ گرمايش قابل تنظيم
تاریخ به روز رسانی:
1396/01/18
تعداد بازدید:
485
كليه حقوق اين وب سايت متعلق به دانشگاه خواجه نصير الدين طوسي ميباشد.